从黑龙江哈尔滨南岗走出来的工程院院士、著名精密仪器专家谭久彬

南岗现为黑龙江省哈尔滨市下辖的中心城区，东与道外区、原太平区毗连，南邻香坊区，北以哈长、滨北铁路线与道里、道外两区分界，西南部隔运粮河与双城市相望。

南岗历史悠久，清代属阿勒楚喀副都统辖地。清嘉庆十九年（1814年）有满、汉农民移居，形成秦家岗等村落。1900年，中东铁路工程局对“新市街”进行城市规划。1904年，南岗归属新市街区。

民国时期，1926年，埠头区、新市街划归哈尔滨特别市管辖。1937年，南岗地区设南岗、马家两个区事务所。

新中国成立后，1947年组建南岗、马家两区，后合并为南岗区。1950年，南岗区公所改为南岗区人民政府。1960年改称南岗奋斗人民公社。1979年，撤销区革命委员会，恢复南岗区人民政府。

南岗人文底蕴深厚，其中宗教文化氛围浓厚，是哈尔滨寺庙教堂最多的地区，这里有佛教寺庙、天主教堂、基督教堂、东正教堂等，这些建筑具有较高的艺术价值和文化价值。

南岗名人辈出，抗日民族英雄赵一曼，曾在南岗区从事革命活动，一曼街就是为纪念她而命名:东北抗日联军著名将领张兰生，为抗击日本侵略者做出重要贡献，其事迹在南岗区广为流传。

就在这样一个历史悠久、文化厚重、名人辈出的黑龙江省哈尔滨市南岗区，却走出来了一位中国工程院院士、我国著名的精密测量与仪器工程专家谭久彬。

1955年3月5日，谭久彬出生于黑龙江省哈尔滨市南岗区，1978年，考入哈尔滨工业大学精密仪器系本科，1982年毕业并获得工学学士学位后留校任教。

1984年，谭久彬在哈尔滨工业大学精密仪器及机械学科攻读硕士研究生，1987年毕业并获得工学硕士学位。1988年，在该校相同专业攻读博士研究生，1991年毕业并获得工学博士学位。

1991年起，谭久彬先后担任哈尔滨工业大学精密仪器与测控技术系实验室主任、副教授、系主任、教授。1996年，在瑞士洛桑联邦工业大学做访问学者、教授。

1997年，谭久彬担任哈尔滨工业大学自动化测试与控制系系主任、教授。2001年起，先后担任哈尔滨工业大学超精密仪器工程研究所所长、教授。2017年11月，当选为中国工程院院士。

谭久彬院士是我国著名的精密测量与仪器工程专家，长期从事精密测量与仪器工程的科研与人才培养工作。下面就简单地介绍一下谭久彬院士的研究成果。

谭久彬院士在突破45nm光刻机双工件台多项关键技术方面所取得的研究成果。

在运动控制与精度提升技术方面，谭久彬院士率领研究团队，开发了超精密运动基准技术，使双工件台的定位精度达到国际先进水平，确保晶圆在曝光和测量过程中能精准定位，满足45nm制程对精度的严格要求，提高了芯片制造的良品率。

另外，谭久彬院士提出的多轴运动基准误差分离方法，可实时监测和补偿双工件台运动中的误差，能够有效减少因机械振动、热变形等因素引起的定位误差，保证了光刻机在长时间运行中的稳定性和精度。

在系统协同与集成技术方面，谭久彬院士团队建立了高效的双工件台协同工作机制，使两个工件台能够在曝光和测量等环节紧密配合、快速切换，实现了光刻机产能的大幅提升，满足了大规模芯片生产的需求。

另外，他们对双工件台系统进行了全面的集成与优化，解决了系统中各部件之间的兼容性和协同工作问题，提高了整个系统的可靠性和稳定性，为光刻机的产业化应用奠定了基础。

谭久彬院士在解决航天发动机喷燃部件超精密测量难题方面所取得的研究成果

在仪器技术创新方面，谭久彬院士率领研究团队成功研制出大深径比微小孔径超精密测量仪器，针对航天发动机喷燃部件中常见的大深径比微小孔径结构，实现了高精度测量，解决了常规测量方法难以准确获取此类结构尺寸、形状等参数的问题。

另外，该仪器可同时对喷燃部件的多种关键参数进行测量，如孔径、圆柱度、表面粗糙度等，能全面评估部件的加工精度和质量，为发动机的性能优化和可靠性提升提供了关键数据支持。

在测量系统集成创新方面，谭久彬院士团队将先进的传感器技术、数据采集与处理技术、运动控制技术等进行有机集成，形成了一套完整的超精密测量系统，实现了从测量数据采集到分析处理的全流程自动化和智能化，提高了测量效率和准确性。

另外，该测量系统具有良好的兼容性和扩展性，可根据不同型号航天发动机喷燃部件的测量需求，灵活配置测量模块和参数，适应了航天领域多样化的测量任务。

另外，他们开发了一套针对航天发动机喷燃部件测量仪器的高精度校准方法和装置，确保测量仪器在长期使用过程中始终保持准确可靠的测量性能，为测量数据的准确性和一致性提供了有力保障。

总结:从历史悠久、文化厚重、名人辈出的黑龙江省哈尔滨市南岗区走出来的中国工程院院士谭久彬，是我国著名的精密测量与仪器工程专家。

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